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据最新行业动态，6月24日传来重要消息，全球光刻机巨头阿斯麦（ASML）与荷兰顶尖应用科学研究机构——荷兰应用科学研究组织（TNO）正式签署合作协议，携手加速光子芯片技术的产业化进程。此次合作的核心焦点是TNO正在荷兰埃因霍温高科技园区精心打造的光子芯片试验生产线。ASML将凭借其深厚的技术积累，分阶段为该生产线提供关键制造支持，涵盖DUV（深紫外）和I-Line光刻设备等尖端技术装备。预计项目全面投产后，这座工厂将拥有每年生产6英寸晶圆规模的磷化铟（InP）光子芯片的强大能力，为光子芯片的大规模商业化应用奠定坚实基础。 |
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